微地震监测系统是通过监测岩体破裂产生的震动或其他物体的震动,对监测对象的破坏状况、安全状况等作出评价,从而为预报和控制灾害提供依据的成套设备和技术。该监测系统可广泛应用于矿山岩体破裂的定位监测,是预测预报顶板垮落、矿井突水、煤与瓦斯突出、冲击地压等的有效工具,也可根据监测到的岩体破裂的范围和破裂程度,确定导水裂隙带高度、开采上限和巷道的合理位置等重要参数。微地震监测系统也可应用于建筑物安全监控、大坝和边坡稳定性监测、核废料储存峒室稳定性监测、隧道稳定性监测以及石油、军事等领域。
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项目解决了大幅面下微纳米结构图形的快速制造难题:1)发明了多功能干涉光学头,实现了普通工业环境下,大幅面亚微米结构图形的快速制造;2)提出了基于空间光调制的智能化图形技术与方法,解决了高效率无掩模光刻关键技术;3) 首次建成了规模化"微纳柔性制造生产线",从"微纳结构设计、材料特性研究、重大装备研发到成果产业化"完整工艺链,促进了技术进入低成本工业化应用阶段。研制成功"宽幅智能激光SLM光刻设备"、"大幅面紫外激光干涉直写设备"、"高效率并行激光精密图形化设备"、面向不同应用的卷对卷纳米压印设备及配套专用工艺装备;具有国际领先水平,这是我国超精细先进制造领域的重要技术突破,所达到的技术性能前所未有。
本项目研制成功了卷对卷纳米压印设备,攻克了大尺寸微纳结构模具制备的紫外激光直写设备和工艺难题,突破了连续压印的关键技术瓶颈,实现了微纳结构材料与器件产业应用。